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認識FIB雙束掃描電鏡,從認識它的工作原理開始

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  FIB雙束掃描電鏡具有高性能成像和分析性能。它經過精心設計,以滿足材料科學研究人員和工程師使用FIB-SEM的需求。它重新定義了高分辨率成像的標準,引入了一種新的精細圖像調節功能FLASH(閃爍)技術。
 
  FIB雙束掃描電鏡只需在用戶界面中操作鼠標即可“實時”執行散光、鏡頭對中和圖像對焦。自動調整可以顯著提高通量、數據質量并簡化高質量圖像的獲取。所有人員操作都非常方便,只有經過短期培訓才能使用。
 
  FIB雙束掃描電鏡的工作原理:
 
  雙束聚焦離子束系統可以簡單地理解為單束聚焦離子光束系統和普通掃描電鏡的耦合。常見的雙束設備是電子束的垂直安裝。離子束和電子束以一定角度安裝。電子束和離子束焦平面的交點通常稱為同心高度位置。當樣品在使用過程中處于同心高度的位置時,可以同時實現電子束成像和離子束處理,通過樣品臺的傾斜可以使樣品表面垂直于電子束或離子束。
 
  雙束系統還可以配備不同的輔助設備以實現特定目的,例如特定的氣體注入系統(GIS),它可以通過化學氣體反應與物理濺射相結合,選擇性地去除某些材料或沉積材料(導電或絕緣);能譜或電子背散射衍射系統可以表征和分析材料成分、結構、取向等;納米機械手可以在微米和納米尺度上控制研究對象;各種可控樣品臺架,如溫度控制、通電、加力等,可實現多場耦合條件下的現場分析和測試。

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