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高性能場發射掃描電鏡的日常維護與保養介紹

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  高性能場發射掃描電鏡具有超高分辨率,具有高性能X射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學組分綜合分析能力,能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
 
  高性能場發射掃描電鏡的日常維護與保養:
 
  1、保持儀器操作平臺干凈整潔,不要靠在上面,不要將重物放在冰水器和其他設備上。
 
  2、啟動機器時,必須先打開水冷系統,并檢查冷卻水的溫度。關閉機器至少15分鐘后,可以關閉冷卻水。
 
  3、進樣時,檢查Z軸和T軸的位置。緩慢關閉樣品室,確保樣品室門*關閉,然后單擊EVAC按鈕抽氣。
 
  4、移動樣品。將階段驅動器移動到X和Y軸以移動樣本,并確保其小于最大允許值。
 
  5、將樣品傾斜-10°~+45°,小心不要損壞探針。傾斜角度應根據樣品臺和樣品條件選擇。注意,樣品可以傾斜的最大安全角度必須小于允許值,以防止樣品撞擊物鏡極靴。
 
  6、使用BSE探頭時,不要傾斜樣本臺。
 
  7、只有在關閉加速電壓的情況下才能取出樣品,不進行樣品掃描時應關閉高壓。
 
  8、排氣時必須關閉HT,120秒后必須輕輕打開樣品交換室的門。
 
  9、更換鎢絲時,等待兩分鐘,然后打開電子槍,用專用工具取出鎢絲和鎢絲罩,以免燙傷。
 
  10、電子顯微鏡需要手動調節的部件主要包括光圈、像散和調節工作距離的旋鈕。
 
  11、每周添加兩到三次液氮,間隔不超過四天。

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